摘要：使用等离子体基离子注入与堆积技能，在氮化硅陶瓷片外表制备200～400llm的类金刚石碳膜。测验薄膜

  的厚度、外表描摹、结构、膜基结合力，使用球盘试验机调查DLC膜的冲突功能。依据成果得出：堆积薄膜均匀光滑；薄

  膜的硬度和弹性模量与基体差异较小，膜基结合力强；DLC膜具有较低的冲突因数，抗磨功能优异。

  作者简介：荆翠妮(1984一)，女，硕士研讨生，E—mail：jing-

  以观 察 更 加 细 微 的 局 部 表 面 立 体 形 貌 。作 者 利 用

  DLC 膜 与基 体 之间 的结合 力 。用 蓝宝 石划 针 ( 划 针

  序衔接 ，G 峰 宽 化并 移 向低 波数 。 由此 可 知 此 DLC

  陶瓷片配 副 分 别在 0．5 ，1．5 N 载 荷 下 不 同速 度 的

  陶瓷球与 DLC 膜 陶 瓷片 配 副的 摩 擦 因数 与 之对 比 ，

  【7 】王海斗 ，徐滨土，刘家浚 ，等．两步法制备固体光滑 FeS 薄膜